マスフローコントローラ 1/4SW 10SCCM N2

●安定性に優れた高速巻線センサーと小型比例ソレノイドバルブを採用し、コンパクトでありながら通信機能を標準装備(RS485)、高精度・高速応答を実現したデジタルマスフローデバイスです。※2

●高速応答で優れたゼロ点安定性。

●入出力信号は0-5V、電源は±15Vです。

●電源コネクタには汎用性の高いD-sub9ビンコネクタを採用しました。

●ロータリースイッチを切り替えることで、本体に登録されているガス種が使用可能。

●RoHS・CE規格対応。

●リードアウトユニットはマスフローコントローラまたはマスフローメータとケーブルで接続することにより、流量の計測・制御といったマスフローの基本機能の他、流量積算機能、流量イベント出力機能をお使いいただけるようになる便利なユニットです。

●型式:EX-250S-C

●電源電圧:±15V

●流体:N?

●F.S.流量:10SCCM

●校正温度:20℃

●入力信号:電圧入力

●出力信号:電圧出力

●使用圧力:150~300kPa

●センサー方式:熱式巻線センサー

●バルブ方式:比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)