マスフローコントローラー 3660

●コンパクトとローコストを両立したベストセラー機です。

●改良型センサー搭載により高速応答と高精度を実現。

●マスフローコントローラーとリードアウトユニットをセットで使用した場合ケーブルが必要です。

●大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用機種として、数多くの実績を持ち、多彩な派生機種、オプションを用意しております。

●型式:3660

●品名:マスフローコントローラー 3660

●流量レンジ:1~5L/min

●材質:SUS316

●摘要:本体

●標準流量レンジ(N?換算):10SCCM~20SLM※最大流量をご指定ください

●応答性:2sec.以内

●精度:±1.0%F.S.(25℃)

●動作差圧:F.S.≦5SLM:50~300KPa、F.S.>5SLM:100~300KPa

●耐圧:980kPa